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平成18年度工学部研究設備（文部科学省補助金）
[2007.3]
- 複合スパッタ装置（エイエルエステクノロジー社）、［平成18年度工学部研究設備（文部科学省補助金）］納入
[蒸着室] <--> [蒸着＆スパッタ室] <-->［搬送室］<--> [グローブボックス］を試料が移動できるような装置をALS社に依頼。
その他：コニカルカソード、DCパルス電源、アルカリメタル用吸光レートモニタ、クライオポンプ、（冷蔵庫付きグローブボックス（KIYON社）[H19春応用物理、ALS展示ブースのものと同型]）。 これで、悲願だった、大気暴露なしでの一貫試料作製、評価が可能になるハズです。
KIYON社のグローブボックスです。左の出っ張りは冷蔵庫
複合スパッタ装置、正面写真（グローブボックスは背面で接続）。
左）装置の概要（全景）が一度に見渡せる図が撮りたいのですが、画角的にこれが精一杯。
右）トランスファーロッドの下が通常は、空間が空いてマヌケな状態になるのですが、この場合、制御系がまとめてあるので、納まり（スペースファクター）が良い感じです。
真空機器のトランスファーは通常、マグネットフィードスルーを用いますが、これは、ダイヤルゲージ付きラック＆ピニオンタイプ。位置再現が高く、搬送の位置決めが良好。搬送時ゲージを見ていればいいので疲れない。
真空チャンバーは角型のものが３つ。左から順に蒸着室、スパッタ室（一部蒸着源有り）、搬送室。
トランスファーロッドは搬送室まで。搬送室とグローブボックスの間は別系統で搬送します。（搬送室前のゲートバルブ：閉）。そうしないと、グロー分ボックスのゲートを開ける際に、非常に沢山のパージガスが必要になりますから・・・。
それだけの搬送室、されどパージガス(G3)が勿体ないので、追加をお願いしました。
裏側です。
搬入は大型トラック2台です。1台は養生資材のみ
取り回しも良く出来ていて、一つ一つのパーツ（ユニット）は全て普通のエレベータ
（貨物用でなく人間用の意味（20人Max））に乗りました。
H19春、応用物理学会展示ブースにて、左)KIYON、Lee社長、右)ALS青島社長